Источники ионов

Источники ионов

Источники ионов с холодным катодом производства ООО «ЛВТ» относятся к классу ускорителей с анодным слоем (УАС). Отличаются простотой и удобством в эксплуатации и высокой надежностью. Выдерживают более 10 лет интенсивной эксплуатации. Процессы перезарядки быстрых ионов позволяют использовать данные ионные источники без катодов-компенсаторов, что упрощает эксплуатацию. Источники типа УАС могут работать в высоковольтном режиме, также возможен сильноточный режим. Выпускаются две конфигурации: круглые, с трубчатым пучком, и протяженные, у которых есть значительный линейный участок.

Задачи, решаемые при помощи данных источников:

  • ионно-лучевое распыление (работа с небольшими дорогостоящими мишенями),
  • ионное ассистирование при напылении,
  • ионное травление подложек.

Их использование обеспечивает высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.


Источник ионов D52

Источник ионов D52

Газоразрядный источник ионов, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.

212 400.00 р. Без налога: 180 000.00 р.

Источник ионов L145

Источник ионов L145

Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.

236 000.00 р. Без налога: 200 000.00 р.

Источник ионов L250

Источник ионов L250

Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 210 мм.

324 500.00 р. Без налога: 275 000.00 р.

Источник ионов L400

Источник ионов L400

Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 350 мм.

413 000.00 р. Без налога: 350 000.00 р.

Источник ионов L700

Источник ионов L700

Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 650 мм.

Цена договорная

Показано с 1 по 5 из 5 (всего 1 страниц)