Газоразрядный источник ионов, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.

По принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Большая величина ионного тока, сфокусированного в пятне небольшого диаметра позволяет производить эффективное распыление металлов, диэлектриков и полупроводников. За счёт малого размера области распыления она представляет собой практически точечный источник, что позволяет получить высокую равномерность толщины напыляемого слоя при соответствующей геометрии напылительной системы.

Ионный источник
Форма пучка Полый цилиндрический
Диаметр пучка 22 мм
Максимальный ток пучка 150 мА
Газовая эффективность 9 мА/sccm
Энергия ионов 500..2500 эВ
Максимальный угол расхождения пучка

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Источник ионов D52

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ИИ-52
  • Доступность: 1
  • Цена договорная


Доступные опции


Рекомендуемые товары

Источник ионов L145

Источник ионов L145

Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки. По принципу действия - ускоритель с а..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.