Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Линейный ионный источник с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка, длина зоны равномерности 650 мм.

Ионные источники применяются для:

• распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
• ассистирования при магнетронном напылении;
• ионной очистки, травления;
• полировка;
• плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
• модификация поверхности.