Распылительная система для круглых мишеней из проводящих мишеней диаметром 95..100 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического стоава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Магнетрон
Диаметр мишени 95..100 мм
Диапазон давлений 0,07..10 Па
Максимальная толщина мишени 10 мм
Электрические параметры
Максимальная мощность 6,0 кВт
Максимальное напряжение 2000 В
Максимальный ток 10 А

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон круглый D100

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: Магнетрон-100К
  • Доступность: 1
  • 241 900.00 р.

  • Без НДС: 205 000.00 р.

Доступные опции