• Генератор плазмы РПГ-250

Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда (трансформаторно связанная плазма TCP).

Назначение: создание плазмы высокой плотности в технологическом объёме.

Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

РПГ-250 позволяет обеспечить высокую однородность обработки, до 2% на диаметре 200 мм (в реакторе специальной конструкции).

Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.

Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:

  • напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
  • ионное и плазмохимическое травление;
  • испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
  • плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
  • ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
  • ионные очистка и ассистирование;
  • высокотемпературный отжиг.
Генератор плазмы
Диаметр рабочей зоны 200 мм
Максимальная мощность 5000 Вт
Диапазон давлений 0,1..10 Па
Диаметр по корпусу 245 мм
Диаметр ввода 60 мм
Рабочая частота 13,56 МГц

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Генератор плазмы РПГ-250

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: RFPG-250
  • Доступность: 1
  • Цена договорная


Рекомендуемые товары

Согласующее устройство радиочастотное автоматическое СУРА-3000-50-13

Согласующее устройство радиочастотное автоматическое СУРА-3000-50-13

Автоматическое устройство согласования СУРА предназначено для обеспечения согласования нагрузки, обл..

495 600.00 р. Без НДС: 413 000.00 р.

Генератор высокочастотный GA-13.1

Генератор высокочастотный GA-13.1

Сигнал RF On/Off1. Дополнительный сигнал внешней блокировки на отдельном разъеме2. Время включе..

462 000.00 р. Без НДС: 385 000.00 р.