Вакуумная установка магнетронного напыления 3-х материалов на подложки 48 х 60 и 48 х 30 мм с с контролем по свидетелю

Базовая платформа - вакуумный пост НИКА 12-500. Камера Ø500 х 450 мм, водоохлаждаемая, оснащена 3-мя смотровыми окнами.

В единой интегрированной стойке расположены вакуумная камера, устройства сухой вакуумной откачки (НВК-160) и блоки управления, питания технологических устройств.

За габаритами установки размещены: ФВН (НВСп) и компрессор крионасоса (НВК), система автоматического оборотного водоснабжения (СОВА).

Рабочий фланец - нижний, на нем расположены технологические устройства и карусель с носителями. В комплект технологических устройств входят:

• 1 ионный источник
• 3 магнетрона
• 1 нагреватель

В комплекте поставки - 2 комплекта по 8 секторных носителей для 2-х типоразмеров пластин (40 Х 68 и 48 х 30 мм).

В установке реализован полностью автоматизированный процесс напыления с предварительной ионной очисткой и нагревом подложек.

Подложки размещаются на горизонтальной карусели, оснащенной системой унифицированного крепления носителей.

Карусель устанавливается на центральный ввод вращения. Ввод вращения оригинальной конструкции - водоохлаждаемый, оснащен системой съема данных температуры изделий и системой контроля толщины напыления по свидетелю, датчик размещается на одном из носителей.

Все процессы автоматизированы, управление и контроль процессами с сенсорной панели компьютера, в том числе и дистанционно.