Установка для нанесения толстых металлических слоёв методом магнетронного распыления. 

Назначение: нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде на керамические подложки. Для обеспечения адгезии проводящего слоя предусмотрено напыление металлического (Cr, Ti, Ta) или диэлектрического подслоя. В последнем случае обеспечивается минимальные резистивные потери в СВЧ схемах.

Технологии:

  • ионная очистка подложек;
  • магнетронное распыление металлических мишеней;
  • магнетронное распыление магнитных материалов (никель);
  • термовакуумное испарение в магнетронном разряде с высокой скоростью нанесения (до 1 мкм/мин на вращающуюся карусель, до 60 мкм полной толщины на всю загрузку);
  • напыление диэлектрического подслоя (опционально);
  • опционально – восстановительная обработка в водородной плазме, заменяющая высокотемпературный отжиг, а также травление органических материалов.

Состав:

  • ионный источник либо генератор плазмы; 
  • магнетрон для напыления металлического (Cr, Ti, Ta) или диэлектрического подслоя;
  • магнетрон для нанесения толстого слоя металла (Cu, Ag) методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде;
  • магнетрон для нанесения защитного слоя Ni;
  • карусель для одностороннего или двустороннего напыления с возможностью быстрой замены одной на другую;
  • два канала подачи рабочих газов;
  • нагреватель (опционально).
Вакуумный пост
Диаметр камеры 500 мм
Высота камеры 400 мм
Материал камеры AISI316
Высоковакуумный насос НВК-160
Форвакуумный насос НВСп-12

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка напыления проводящих слоёв Ника-2012-500 ПС

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: Ника-2012-500 ПС
  • Доступность: Предзаказ
  • НЕТ В НАЛИЧИИ
    Вы можете приобрести данный товар на заказ.
  • Цена договорная