Ника-2012
Серия «Ника-2012»: современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Камера из нержавеющей стали Ø400х350 либо Ø500х400 мм с рубашкой охлаждения. Интегральное бесстоечное исполнение. Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос). Площадь с зоной обслуживания – 3 м2, в плане — 2 м2.
Подвижный нижний фланец: 4 позиции ISO63 для устройств на выбор: магнетроны, ионный источник, генератор плазмы, термические испарители. Плоская карусель для односторонней обработки (6 круглых подложек Ø100 мм, либо 12 – прямоугольных 60х48 мм), либо система с переворотом подложек — для двусторонней. Быстрая замена карусели под различные подложки. Заслонка с автоматическим приводом.
Верхний фланец: предусмотрена возможность установки нагревателя и кварцевого измерителя толщины покрытий. 5 отверстий ISO63.
3 смотровых окна, оборудованных заслонками. Вместо любого окна может устанавливаться фланец ISO160 с дополнительным оборудованием.
Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт.
Габариты: 850..1415 х 900..1100 х 1750..1900.
Масса: 300..600 кг.
В серии «Ника-2012» для решения типовых задач разработаны следующие базовые конфигурации: напылительные установки ИН (ионное напыление), РС (напыление резистивных слоев), ПС (напыление проводящих слоев), ТН (термическое напыление), и плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).
Все установки полностью автоматизированы, функционируют под управлением компьютерной программы, обеспечивающей автоматизацию работы вакуумной системы и технологического процесса. Предусмотрен ручной режим работы для отладки технологии и диагностики системы, а также полностью автоматическое проведение технологических процессов по рецептам.
НИКА 12-500-137 (3ТН)
Установка напыления резистивным испарением тонких слоев металлов с предварительной плазменной очисткой
Цена договорная
Установка 2-х стороннего напыления НИКА-12-500-146 (6М2И1Н)
Установка двухстороннего напыления тонких слоев металлов в одном цикле с контролем толщины
Цена договорная
Установка магнетронного напыления НИКА 2012-500-138 (3МИ)
Малогабаритная вакуумная установка магнетронного напыления 3-х материалов с контролем по свидетелю
Цена договорная
Установка термического испарения НИКА 12-500-138-01 (1И1Н1М2Т1В)
Установка напыления резистивным испарением тонких слоев металлов (до 3 мкм) с дозированной подачей матириалов и предварительной ионной очисткой
Цена договорная
Показано с 1 по 5 из 5 (всего 1 страниц)