В корзине пусто!
Вакуумный пост НИКА-2013-500-ВП (исполнение НИКА-2013-ВП с горизонтальной малогабаритной камерой).
Камера водоохлаждаемая, из нержавеющей стали, размер Ø500х400 мм.
Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос).
Все откачные устройства интегрированы в единую стойку.
Боковые фланцы Ø500 мм на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения.
Отличие предусматривает размещение на заднем фланце технологических устройств (кол-во определяется ТЗ). Передний фланец - рабочий, для размещения загрузки.
Системы управления (БУВС, ПК, монитор), охлаждения (БВР, СОВА-опционально), контроля вакуума (ВМЦ, ВТРЦ) входят в состав вакуумного поста штатно как и в НИКА-2013-ВП.
Конструкция вакуумного поста позволяет использовать фланцы вакуумных постов серии НИКА-12-500.
Площадь размещения с зоной обслуживания 7 м2.
Основное применение для специальных задач, требующих горизонтального размещения загрузки.
0 отзывов / Написать отзыв
Теги: Ника - 2013-500-ВП