Унифицированный вакуумный пост НИКА-2013-ВП под "большие загрузки" с горизонтальной камерой.

Камера водоохлаждаемая, из нержавеющей стали, размер Ø700 х 550 мм.

Откачка безмасляная (турбомолекулярный или криогенный и спиральный форвакуумный насосы). Все откачные устройства интегрированы в единую стойку, размещены под камерой.

Боковые фланцы камеры Ø700 мм на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения и поворота для обслуживания и загрузки.

Базовый вариант предусматривает:

размещение на заднем фланце технологических устройств (до 7 мест ISO63);
на переднем фланце ввод вращения (ISO160), 4 смотровых окна (ISO80);
загрузка размещается на вертикальной карусели или горизонтальном барабане.

В основной 19' стойке размещаются штатно системы управления (БУВС, ПК, монитор), охлаждения (БВР, СОВА-опционально), контроля вакуума (ВМЦ, ВТРЦ), так же блоки управления и питания технологических устройств (посадочных мест - 24U).

Площадь размещения с зоной обслуживания 7,5 м2.

Основное применение вакуумного поста - для проектирования установок с большими загрузками (к примеру, гарантировано размещение более 100 пластин размером 48 х 60 - для односторонней обработки и 80 для двухсторонней).

Предусмотрено исполнение с уменьшенной камерой.

Электрические параметры
Подключение к сети	3ф 380В (3P+N+PE)
Общие характеристики
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм	1620/3150 мм х 1420/2400 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота с закрытыми/открытыми дверями шкафа)
Вакуумный пост
Бустерный насос	Опционально
Стандартная комплектация	БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений
Компоновка	Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы оснащены механизмами перемещения и поворота.
Средства откачки	Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку
Вакуумная камера
Ориентация	Горизонтальная
Материал	Нержавеющая немагнитная сталь (AISI316)
Диаметр	700 мм
Длина	550 мм
Окна	4 x ISO80 (с заслонкой)
Фланец устройств	Задний, штатно 7 посадочных мест (ISO63)
Рабочий фланец	Передний, штатно: 4 окна ISO80 c заслонкой) и центральный ввод вращения (ISO80)